TA610\620\630\631微調平臺 的詳細介紹

產品說明：
TA610花崗巖平臺工作面精度：00級（平面度公差值3um）
     花崗巖平臺的大小尺寸：400mm*250mm*70mm
     垂直升降高度：270mm
     垂直長降微調量：20mm
TA620花崗平臺工作面精度：00級（平面度公差值3um）
     花崗巖平臺的大小尺寸：400mm*250mm*70mm
     垂直升降高度：300±1mm
            升降回程誤差：£手輪旋轉1/6圈
TA630調整范圍：*向：±12.5mm;Y向：±12.5mm
旋轉角度：粗調：360⁰；微調：±5⁰；俯仰角度：0-5⁰
TA631調整范圍：*向：±12.5mm,Y向：±12.5mm
             旋轉角度：粗調：360⁰；微調：±5⁰