產(chǎn)品介紹

    超聲波流量計(jì)儀是一種用于檢測半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)，涂布藥液的流量管理的一種測量儀器，此種儀器的特性是配管兩端裝有超聲波探頭，相互進(jìn)行收發(fā)信號(hào)，測定各自傳播時(shí)間；順流的超聲波會(huì)很快到達(dá)，相反逆向的超聲波則會(huì)較晚達(dá)到，根據(jù)傳播時(shí)間算出流速，并通過流速算出流量。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、配管兩端裝有超聲波探頭，相互進(jìn)行收發(fā)信號(hào)，測定各自傳播時(shí)間。
2、無突出部位暴露在流液內(nèi)不會(huì)產(chǎn)生測量誤差。
3、與液體接觸部完全使用TEFLON制造。
4、測量范圍大。

技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)，涂布藥液的流量管理。