臭氧為氧的同素異性體，化學性質活潑，常溫下自行分解為初生態的氧，是一種強氧化劑，其氧化能力僅次于氟，即使在低濃度下也可瞬時完成氧化作用，反應后沒有永久性殘余物。臭氧作為氧化劑和消毒殺菌劑，廣泛地應用到石油、化工、經紡、造紙、醫藥等行業的給水消毒、廢水處理及空氣凈化。作為消毒劑可以殺死細菌、去病毒、除嗅味、可以把水中的酚、硫、油、磷芳香烴一些難于生物氧化降解的有機物分解，還可以使鐵、錳離子氧化而生成易沉淀的固體，所以臭氧發生器是當代給水凈化和污水處理中的重要設備。此外，臭氧還可應用于食品保鮮、自來水、礦泉水、飲料用水、游泳池的水、醫院污水殺菌消毒、除臭、除味：中央空調循環殺菌,空氣凈化、消毒,用于制藥、生物工程、醫院、醫療器械、衛生用品、食品加工、遺傳工程等工具有HVAC統的行業，可對HVAC系統控制的每個潔凈室進行徹底消毒滅菌。