主要技術參數：

型號                    FZF-200/1200

抽氣速率（l/s）         200L/S

壓縮比N²                >10⁹

壓縮比H²                  >8×10⁴

極限壓強(Pa)          <2×10^-8    <1×10^-7

高真空法蘭              LF200   CF200

排氣口法蘭             KF40

啟動加速時間（min）  <5min

電機轉速（n/min）      24000n/min

最小不平衡量（mg）    15mg

建議采用前級泵          機械泵8～15L/S

充油量（ml）          /

安裝方式               垂直±5°

冷卻方式               水冷或風冷

冷卻水溫度             <20℃

環境使用溫度（℃）    風冷<32℃ 水冷<40℃

泵體烘烤溫度（℃）    <100℃

泵重量（kg）          36kg

外形尺寸（mm）          φ320×428