一、  用途

 

本顯微鏡主要供接觸式光刻機制作集成電路光刻對準用。顯微鏡所制作的集成電路的硅片最大尺寸為Φ80毫米。由于顯微鏡有兩個相距一定的間距可調的物鏡，因此，硅片和掩模上對應的兩個相距一定間距的標志或圖形可以成像在顯微鏡視場內同時觀察作對準工作。

 

一般情況下目鏡內有一中央分界線，分界線左的視場內的對準情況代表硅片與掩模在左半部的某一小區域內所對準的情況（該區域為左物鏡在某一位置時所對應的半視場）。同樣，中央分界線右的情況代表硅片與掩模在右半部的某一小區域內所對準的情況。若要看清整個左部或右部物鏡視場內的對準情況，則可拉動或推動視場切換器拉桿即可。