該燈光譜范圍主要在325nm～450nm之間，是在高壓汞蒸氣中產生電弧發光的短弧燈，此類燈管具有高輻射、多線光譜、在紫外光區有較高的輻射能量、壽命長、高光學質量等優點，適用于全自動曝光系列和半導體生產光刻。