同軸電極真空爐感應圈：感應圈每匝之間經過耐高壓絕緣處理，確保在真空狀態下，不打火放電。緊固感應圈的銅螺帽沉入膠木柱內，消除了螺母尖棱在真空狀態下的打火放電。采用同軸電極與感應圈相接的結構，可使真空爐體與同軸電極連接部位密封結構簡化，能夠提高密封的可靠性、安全性與真空度。采用同軸電極可以節能。該產品現已廣泛應用于真空多晶硅提純設備上。