Colibrys的MS9000慣性加速度傳感器是一種新的超小型產品，適用于惡劣的使用環境和耐用度要求極高的應用領域。這種換代產品采用了LCC20(8.9mm x 8.9mm)陶瓷封裝，具有從±2g到±250g廣泛的加速度測量范圍。該傳感器可在較大的溫度范圍應用并且全使用壽命器件零位穩定保證在幾mg以內。
Colibrys MS9000系列是一個電容式MEMS加速度計，它是由一個立體微加工工藝支撐的硅元件，一個低功耗ASIC專用信號處理器和一個存儲補償值的微控制器以及一個溫度傳感器等元件組成。該產品是一個低功耗的、校準的、功能強大和性能穩定的產品，其電子配置中帶有一個電源重置以防止電壓不穩的全保護裝置。
產品特點：
█ LCC封裝 █測量范圍可定制 █優異的偏差穩定性 █低模擬電壓輸出█高抗沖擊性能 █集成溫度傳感器 █過電保護
應用領域
█ 慣性測量：航天；航空與制導
█ 傾斜測量：運輸；儀器儀表；鉆探
█ 振動測量：地震測量；數據記錄儀
技術指標
|
參數 |
單位 |
MS9002D. |
MS9010D. |
MS9030D. |
MS9050D. |
MS9010D. |
MS9250D. |
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|
全部測量范圍 |
g |
± |
± |
± |
± |
± |
± |
||
|
封裝 |
|
||||||||
|
零位校準 |
mg |
<10 |
<50 |
<150 |
< 250 |
<500 |
<1250 |
||
|
零位穩定性(﹥48H) |
mg typ. |
<0.05 |
<0.25 |
<0.75 |
< 1.25 |
<2.25 |
<6.25 |
||
|
開/關重復性 |
mg max. |
<0.15 |
<0.75 |
<1.5 |
< 3.8 |
<7.5 |
<18.8 |
||
|
零位溫度系數 |
mg/℃ typ. |
<0.1 ± |
<0.5 |
<1.5 |
<2.5 |
<5 |
<12.5 |
||
|
mg/℃ max. |
0.4 |
± 2 |
±6 |
±10 |
±20 |
±50 |
|||
|
比例因子(K1) |
mV/g |
1000± 8 |
200± 2 |
66.6± 1 |
40±1 |
20±1 |
8±1 |
||
|
比例因子溫度系數 |
ppm /℃ typ. |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
||
|
min./ max. |
-50/250 |
-50/250 |
-50/250 |
-50/250 |
-50/250 |
-50/250 |
|||
|
輸入軸偏心度（Kp，Ko） |
mrad max. |
<10 |
<10 |
<10 |
<10 |
<10 |
<10 |
||
|
% max |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
|||
|
分辨率/閾值（@ 1Hz） |
mg max. |
< 0.1 |
< 0.6 |
< 1.7 |
< 2.8 |
< 5.5 |
< 12.5 |
||
|
非線性度 |
% of FS max. |
< 0.8 |
< 0.9 |
< 0.9 |
< 0.9 |
< 1 |
< 1 |
||
|
g max. |
< 0.02 |
< 0.09 |
< 0.27 |
< 0.50 |
< 1 |
< 2.5 |
|||
|
帶寬 |
Hz |
0～≥100 |
0～≥100 |
0～≥100 |
0～≥100 |
0～≥100 |
0～≥100 |
||
|
噪聲譜密度[0;9kHz] |
μV/√Hz typ. |
18 |
18 |
18 |
18 |
18 |
18 |
||
|
max. |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
|||
|
諧振頻率 |
kHz |
1.4 |
3.7 |
6.3 |
11 |
15 |
26 |
||
|
供電電壓 |
VDC |
2.5～5.5VDC,標準的校準電壓為5.0VDC |
|||||||
|
重量 |
g |
<1.5 |
|||||||
|
尺寸 |
mm |
標準值14.2X14.2X |
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