SET3/1064/532/355，SFT3：激光調阻機
產品特點：
--調阻精度高
l 先進的激光器提供了TEM00高光束質量和極細線寬的激光束
l 四線制高速測量系統，測量時間僅為25us
l 擁有軟件預調誤差補償功能
--調阻速度快
l 先進的激光器擁有極高的重復頻率，在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度
l 德國進口掃描振鏡，掃描速度極快
l 高精度分步重復機構，空氣軸承，移動速度及加速度快
--可靠性高
l 整機配置核心器件均采用原裝進口配置
l 采用花崗巖臺座，穩定可靠
--功能強大
l 擁有溫度實時補償功能
l 同時具有激光劃片和打標功能
--運行及維護成本低廉
l 采用半導體端面泵浦或光纖激光器
l 使用壽命長，性能穩定
l 電光轉換效率高，節約用電成本
l 采用風冷系統，無須外置冷卻設備
l 操作簡單，無須高額培訓成本
技術參數：
--激光器系統
l 激光類型：半導體端面泵浦激光器 / 光纖激光器
l 激光波長：1064/532/355nm
l 激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)
l 激光頻率：200Hz-50KHz
l 典型光斑尺寸：30µm
實際切口取決于材料、光學器件和波長；可根據需要選配532綠激光或355紫外激光最小光斑達12µm
l 泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時
l 冷卻方式：風冷
l 對焦方式：計算機程序控制
--激光束定位系統
l 激光束運動范圍：75mmX
l 點到點運動時間：5ms（典型）
l 最大速度：
l 重復定位精度：2.5µm
l 激光束最小步進：0.76µm
--圖像監視系統
l 監視方式：激光同軸監視
l 最大放大倍數：>100倍
l 圖像監視顯示屏：19寸液晶
--測量系統
l 激勵方式：電流/電壓激勵
l 恒流源：0.01µA~100mA計算機程控選擇
l 恒壓源：0~20V計算機程控選擇（可選其它電壓范圍）
l 電阻測量方式：四線制加電流測電壓
l 直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
l 調節對象發熱控制：程序可設定
l 電阻測量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
l 電阻測量范圍：0.01Ω-500MΩ
l 電阻測量速度：25µs
l 直流電壓分辨率：0.16µV（在10mV滿量程條件下）
l 探針板：44針11組四線制（可選其它規格）
l 探針板運動：計算機程序控制
--計算機及軟件系統
l 工業控制計算機（雙核），17寸液晶
l 操作系統：Windows XP
l VB平臺開發的可視化應用軟件，界面友好，功能強大
--分步重復運動系統
l 運動XY范圍：290x
l 運動分辨率：1µm
l 定位精度：小于6µm（帶誤差補償）
l 重復定位精度：小于3µm
l 最大運動速度：
l 具有溫度補償等功能
--非接觸溫度測量
l 溫度測量精度：
l 調阻溫度修正：計算機程序控制
--其它技術指標
l 供電電壓：220V AC
l 整機功耗：小于1000W
應用和市場：
主要應用于厚膜、薄膜電路的精密調節。廣泛應用于
l 厚膜混合集成電路
l 電子元器件
l 汽車電器
l 傳感器
l 軍工科研
l 片式電阻等行業
