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規格（長×寬）mm |
檢驗平臺精度等級 |
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1級 |
2級 |
3級 |
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平面度公差（um） |
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200×200 |
10 |
20 |
50 |
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300×200 |
12 |
24 |
60 |
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300×300 |
12 |
24 |
60 |
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300×400 |
12 |
24 |
60 |
|
400×400 |
12 |
24 |
60 |
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400×600 |
14 |
28 |
70 |
|
500×500 |
14 |
28 |
70 |
|
500×600 |
14 |
28 |
70 |
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500×800 |
16 |
32 |
80 |
|
600×800 |
16 |
32 |
80 |
|
600×900 |
16 |
32 |
80 |
|
1000×750 |
18 |
36 |
90 |
|
1000×1000 |
20 |
39 |
96 |
|
1000×1200 |
20 |
40 |
100 |
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1000×1500 |
24 |
48 |
120 |
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1000×2000 |
26 |
52 |
130 |
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1500×2000 |
28 |
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