羅茨泵-水環泵:羅茨真空機組中水環泵的作用是造成羅茨泵所需的預備真空,一般情況,單級水環泵極限真空度不高,而目前我國生產的羅茨泵要求的預真空又較高,故實際上一般不用單級水環泵作為羅茨泵的前級泵,而用極限壓力較低的雙級水環泵作為前級泵使用,還可以降低機組的極限壓力。
一臺羅茨真空機組羅茨泵與一臺水環泵的極限壓力是400Pa,可滿足一般的真空需求,但使用范圍受到一定限制,若用兩臺羅茨泵串聯再與水環泵組合,就能大大提高機組的極限壓力(可達25Pa)。故在這種類型里通常見到的是兩臺羅茨泵串聯后再用雙級泵作前級泵組成機組。如果需要更高的極限壓力,可用三臺羅茨泵與水環泵組合,它的極限壓力可達1Pa。
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