|
測量用等離子體的發射可在僅3毫秒內達到200～1100nm的波長。PlasCals系列監控器為數據的獲取提供高級過程控制和精密的數據運算。
|
功能特點
調制步驟編輯
調制步驟編輯工具可以使用戶簡單、快速地設置、建立和保存實驗方法。利用該工具可以對多數復雜的等離子體過程建立簡便而有效的步驟設置：例如測量薄膜沉積情況、監測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監測反常的污染和排放現象等。
用于簡單的等離子體診斷的多重工具
PlasCalc型監控器配有操作軟件，所提供的完整的公式編輯器可以進行所有需要的數學和算法功能。我們同時提供一個可選配的放射波長數據庫，可以另外單獨購買，它能夠提供種類的鑒定；而波長編輯器則使用戶完成信噪比的優化。操作界面包含兩個窗口，可以同時顯示真實的光譜和所有控制過程信息。
PlasCalc型監控器的規格
|
光譜范圍 |
200～1100nm |
|
光學解析度 |
1.0nm（半最大值全波） |
|
數字/模擬轉換器 |
14 bit |
|
數字輸入/輸出 |
8 x TTL |
|
模擬輸出 |
4 x [0-10V] |
|
連接方式 |
USB 1.1 USB 1.1 |
|
電力消耗 |
12V直流電，1.25A |
|
電力需求 |
90～240V交流電，50/60Hz |
|
尺寸 |
257 mm x 152 mm x 263 mm |
|
重量 |
5 kg |
