| 測量用等離子體的發射可在僅3毫秒內達到200～1100nm的波長。PlasCals系列監控器為數據的獲取提供高級過程控制和精密的數據運算。
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功能特點
調制步驟編輯
調制步驟編輯工具可以使用戶簡單、快速地設置、建立和保存實驗方法。利用該工具可以對多數復雜的等離子體過程建立簡便而有效的步驟設置：例如測量薄膜沉積情況、監測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監測反常的污染和排放現象等。
用于簡單的等離子體診斷的多重工具
PlasCalc型監控器配有操作軟件，所提供的完整的公式編輯器可以進行所有需要的數學和算法功能。我們同時提供一個可選配的放射波長數據庫，可以另外單獨購買，它能夠提供種類的鑒定；而波長編輯器則使用戶完成信噪比的優化。操作界面包含兩個窗口，可以同時顯示真實的光譜和所有控制過程信息。
PlasCalc型監控器的規格
| 光譜范圍 | 200～1100nm |
| 光學解析度 | 1.0nm（半最大值全波） |
| 數字/模擬轉換器 | 14 bit |
| 數字輸入/輸出 | 8 x TTL |
| 模擬輸出 | 4 x [0-10V] |
| 連接方式 | USB 1.1 USB 1.1 |
| 電力消耗 | 12V直流電，1.25A |
| 電力需求 | 90～240V交流電，50/60Hz |
| 尺寸 | 257 mm x 152 mm x 263 mm |
| 重量 | 5 kg |
【光電測量產品】
光源 真空紫外光譜儀 訂制光譜儀 軟X射線光譜儀 拉曼光譜儀 紅外\紫外激光觀察儀 HPLC熒光光度計 CCD相機 動態光散射 高速攝影照相機 光纖光譜儀 海洋系列光譜儀 光譜系統 原子力顯微鏡 探測器 濾光片 紅外光譜儀 單色儀 光柵 照度計 光信號電子學儀器 工業內窺鏡 薄膜測量 PC示波器 數字記錄儀 遠紅外太赫茲光譜儀 太陽光模擬器 袖珍數碼顯微鏡相機 壓電陶瓷 紫外線固化機 紫外反射鏡 濾光片測量儀 電動位移臺/電控位移臺 納米位移臺 光電探測器 均勻光源
【激光系列產品】
光纖激光器 多模泵浦激光器 激光二極管未封裝bar 激光二極管冷卻裝置 激光器電源 氦氖激光器 CO2激光器 半導體泵浦激光器 氬離子激光器 氦鎘激光器 氮分子激光器 皮秒激光器 激光二極管電源 激光光譜測量 激光能量計/功率計 激光雕刻、打標、切割機 激光二極管模塊 深紫外、紫外固體激光器 信號發生器 超快飛秒激光器 熱電制冷產品 激光光束定位系統 激光光束分析儀 激光準直器 多通道激光功率計 半導體激光器 激光測距儀 紅外激光顯示卡 調Q激光器 激光護目鏡 光學平臺 光學調整架 光學微調架 可調嵌入式光學調整架 傾斜位移臺 通用調整臺 光學延遲線 手動位移臺 XY位移臺 光學旋轉臺 角位移調整臺 激光器附件 可變光闌 擴束鏡 拉曼激光器 大功率光纖耦合激光器
【分析儀器產品】
電化學檢測儀器 電泳系列儀器 分光光度計 色度計 濁度計 注射泵 紫外臺 凝膠成像系統 分析儀 ICP電感耦合 氣相色譜儀 HPLC高效液相色譜 紅外光譜儀 電子鼻 傳感器 蒸發儀 凱氏定氮儀 熔點儀 干燥儀 熒光光度計 火焰光度計 熱分析儀 溶出度儀 X射線衍射儀 進樣器 X射線熒光光譜儀 全自動儀器 三維表面輪廓儀
【元件耗材】
窗片 棱鏡 透鏡 激光棒 晶體 反射鏡 分光鏡 偏光鏡/偏光片 光學基片
【光通信儀器】
ASE光源 光纖放大器 光發射機 光通信激光器
