產品特點：
◆主機為水平一至三管爐系統(tǒng)構架，獨立完成不同的工藝或相同工藝
◆儀表控制系統(tǒng)，對爐溫、氣體流量、閘門等動作進行自動控制
◆關鍵部件均采用進口，確保設備的高可靠性
◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好；
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能
◆高質量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命

擴散爐主要技術指標
1、工藝說明
1.1氧化：干氧工藝，濕氧工藝（去離子水）
1.2擴散：硼擴、磷擴（液態(tài)源、固態(tài)源等）
1.3合金、退火等工藝

2、系統(tǒng)組成：主機（加熱體、石英/SiC管、功率組件等)、凈化工作臺、氣路氣源系統(tǒng)（氣源柜）、儀表控系統(tǒng)等組成

3、控制方式：手動送片/自動送片

4、擴散爐配置（可選）：
4.1儀表控制/觸摸屏控制
4.2工藝管（水平結構）：1-3管
4.3工藝規(guī)格：2~6英寸晶圓或125mm×125mm、156mm×156mm太陽能電池片（工藝腔體為石英或碳化硅）
4.4恒溫區(qū)長度：1100mm/800mm/600mm/450mm
4.5晶圓裝載：懸臂式，剛玉/碳化硅桿，碳化硅槳
4.6工作臺：有凈化/無凈化

5、擴散爐主要技術參數(shù)：
5.1工作溫度：200～1300℃
5.2加熱體控制點：3/5點
5.3爐體恒溫區(qū)：450mm/600mm/800mm/1100mm
5.4恒溫區(qū)精度：＞800℃/±0.5℃ ，＜800℃/±1℃
5.5單點溫度穩(wěn)定性：600～1300℃/ ±0.5℃/24h
5.6最大可控升溫速度：15℃/min
5.7最大降溫速度：5℃/min（900～1300℃）
5.8供電：三相四線，380VAC/50HZ