注:產品價格面議
機型\項目 | TG5 | TG6-9 |
鍍膜室規格 | 700-800*800-880 | 900-1000*100-1200 |
極限真空度 | ≤7.6×10-4Pa | |
冷態抽真空時間 | 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘 | |
機組配置 | KT-400擴散泵機組 | KT-400擴散泵機組 或KT-500 |
靶配置 | 5個電弧靶1個磁控靶 | 6-9個電弧靶2個磁控靶 |
配電要求 | 40KW | 50KW |
備注 | 可根據用戶產品、產量、膜層特殊要求設計制造非標設備 |