征泛結構化MEMs集成設計方法中，破碎機集成設計體系分別對MFMs產品全生命周期中各要素、各功能模塊、不同學科領域的各種設計工具進行集成，是MEMs設計工具的開發基礎，也是最終表現形式。破碎機本書按照從局部到整體的順序，將其放在后面部分進行介紹。本章主要介紹分層設計體系的關鍵技術及實現c
在泛結構化MEMs集成設計方法中，MEMs的設計被分為系統級、器件級和工藝級三個層級，每一級按照既定的任務分配執行不同類型的設計與仿真，共同完成MEMs的設計任務。破碎機本章將按照自頂向下的順序．依次論述系統級設計、器件級設計和工藝級設計的關鍍技術及實現。
在MEMs分層設計體系里，破碎機系統級設計是基于低階模型的快速建模與仿真，其直接面向應用、面向需求，能夠快速制定設計方案并進行分析和評價。在本書中，主要采用組件網絡法實現MEMs器件的系統級設計。破碎機本節將詳細介紹多端u組件網絡MEMs系統級建模方法的理論基礎及關鍵技術。網址：
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