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制水量:8L/H
超純水水質:電阻率>18MΩ.cm(符合國標一級水標準)
TOC<1~5PPb
硅泄漏<0.2PPb
微生物≤1CFU/ml
顆粒物(>0.22μm )<1個/ml
熱源 無
純水水質:電阻率>0.2MΩ.cm (進水電導率<300μs/cm)(符合國標三級水標準)
取水流速:~1升/分
進水水源:市政自來水
進水壓力: >0.1MPa
進水水溫:2~40℃
工作電源:220V/50H2
外形尺寸:600×450×1000mm
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