2900DX3表面粗糙度 輪廓形狀測量機
最新的技術一線性馬達 高速、低振動、高精度的測量

采用線性馬達下一代驅動部的開發(現正申請專利): 具有世界最高水平的測量速度以及
低振動性，能夠進行穩定的高倍率測量。線性馬達為非接觸驅動，構造簡單(無進給絲
桿、齒輪箱)，因此不會產生振動，可以長期穩定運行。
·大幅度提高了生產效率的高速測量: 粗糙度測量最大3mm/s、波紋度測量最大20mm/
s、移動速度60mm/s取得了前所未有的驚人速度。可自動進行從利用演示、回放功能
的測量到利用數據粘貼制作檢查成績書等一系列的作業，測量效率提高了5~10倍(與本
公司舊機型相比)。
·節省空間設計: 采用了令人耳一新的全新設計，占地面積削減了約25%(與本公司舊機
型相比)。設置恒溫室等時，有降低費用的效果。
·裝載了新開發的高性能小型傳感器(粗糙度) : 裝載了新開發的傳感器，其設計小巧，適
用于高倍率、大范圍的測量。外徑為14mm，測量范圍圍達1000mm,測量倍率為50萬倍。
·精度更上了一層樓：可以測量以前不能測量的工件(輪廓): 測量精度2.5μm(測量范圍
5mm)足以用來測量模具等精密零部件。測量精度大幅度提高，可以測量以前用高級機
型才能測量的工件，大大地拓寬了其用途。
·對通用零部件的輪廓度評價簡便(輪廓) : 對以往用投影機、工具顯微鏡進行評價的零部
件輪廓度可以在短時間內得出精確的數據。而且測量結果可以直接作為檢查成績書使用。
東京精密公司獨特的先進功能(粗糙度/輪廓):
·自動要素判定功能(AI功能)：可自動判定點、直線、圓等要素，不需操作者指定
·尺寸顯示功能：可在測量圖上顯示參數、幾何偏差等實測值。
·自動凸面加工功能：用于自動檢測出工件的最大值或最小值。
2900DX表面粗糙度?輪廓廓形狀測量機
最新的技術一線性馬達 高速、低振動、高精度的測量

型號                            SURFCOM 2900DX3/SD3 
   SURFCOM 1500DX/SD3                      CONTOURECORD 2700DX3/SD3 
   表面粗糙度評價      輪廓形狀評價 
量程 Z軸 1000μm 50mm 
X軸 100mm 100mm 
精度 Z軸指示精度（縱方向） — ±（0.8+|2H|/100）μm 
測量分辨率 1000μm/0.01μm~6.4μm/0.0001μm 0.025μm/50mm 
X軸指示精度（橫方向）               — ±（1+L/100）μm L:測量長度（mm） 
測量分辨率 100mm/0.04μm或32.000點 0.016μ 
直線度 （0.05+1.0L/1000）μm L=測量長度（mm） 1μm/100mm 
傳感器方法 Z軸（縱方向）       差動變壓器       光柵尺 
X軸（橫方向）       光柵尺       光柵尺 
速度 立柱上下移動速度（Z軸）                         3—10mm/s 
測量速度（X軸） （粗糙度）0.03—3mm/s;（波紋度）0.03—20mm/s 0.03-20mm/s 
移動速度（X軸）                         0.03—60mm/s 
傳感器 測針         交換式    交換式 
測量力         0.75mN    30mN以下 
測針半徑    2μmR, 60℃圓錐    25μmR, 24℃圓錐 
測針材質         金剛石    超硬金鋼石 
測量方向 向右    左右兩方向 
測量姿勢           — 上下兩方向，最大跟蹤角度77℃ 
要素 電壓、功率       單項AC220V±10% 50/60Hz、670VA 
尺寸（WXDXH） DX3-12:1250（W）X850（D）X1500（H）mm、約225Kg、SD3-12:1500（W）X600（D）X1500（H）mm、約125Kg 

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