電子半導體器件、電子計算機、電子通訊設備和集成電路等微電子行業的生產車間和高級實驗室為減少或消除靜電危害,均需鋪設防靜電臺墊或導電地墊,當防靜電臺墊或地墊鋪好并接地后,工作面將泄放人體靜電,使人體與臺面接觸的ESD鑷子、工具等達到基本均一的電位,使靜電敏感器件(SSD)不受摩擦起電等靜電放電現象產生的寬步面帶的干擾,從而達到防靜電的效果。雙層結構橡膠臺墊還可用來消除與臺墊相接觸的人、周轉箱、包裝袋、元器件及其他物品的靜電。平整、不卷曲、不受潮濕影響,并能有效抵抗剝蝕,化學物品及耐高溫、易于清潔和保養。
防靜電橡膠臺墊主要用抗(導)靜電材料和耗散靜電材料合成橡膠等制作而成。常用為2mm厚雙層復合結構,表面層為約0.5mm 厚的靜電耗散層,底層為約1.5mm厚的導電層。
表面電阻/resistvity of surface layer |
10^6-10^9歐 |
底面電阻/resistvity of botton layer |
10^3-10^5歐 |
體積電阻/bulk resistvity |
10^5-10^8歐 |
磨耗率/abrasistivity loss |
<=0.02g/cm2 |
散電散除時間/time for static dissipation |
<0.1s |