羅茨真空機組是由多葉片的轉子偏心地裝在泵殼內，當葉片旋轉時，由于離心力的作用，泵殼內的液體形成與泵殼同心的液環，液環與轉子葉片之間的容積形成周期變化，從而實現抽氣作用。特點是能耗小、噪聲低、適應性廣，除了能抽除一般性氣體外，還能抽吸蒸汽及易燃易爆氣體；
如果改變主要零件材質或作表面處理，還能抽除腐蝕性氣體，還可選用適當的工作液，有時也可用被抽介質作為工作液，因此幾乎全部的工業性氣體均可被抽除，因而廣泛地用于輕工、化工、食品、電力等各部門的真空工藝處理中。
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