小型等離子清洗機泛指容積在10升以下，清洗特點容易采用數控技術，自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得到保證；由于是在真空中進行，不污染環境，保證清洗表面不被二次污染。小型等離子清洗機的基本結構

1、射頻電源部分：射頻源，射頻調節，功率放大，功率調節，功率輸出，輸出保護，等離子電極，溫度保護。

2、系統控制部分：數字自控，I/O控制，真空度A/D檢測，脈寬比例D/A調節，參數記憶，時鐘設定。

3、真空與氣路部分：真空系統，外加氣體，流量調節，回氣與管路

設備的通用技術參數

____ YZD08-10C型是單路氣體輸入，

*供電電源：AC220V

*工作電流：整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)

*射頻電源功率：500W

*射頻頻率：40KHZ（偏移量小于0.2KHz）

*頻率偏移量：小于0.2KHz

*特性阻抗：50歐姆，自動匹配

*真空度：10Pa—1000Pa

*氣體流量：1—100ml/min(可調)

*過程控制：PLC自動與手動方式(人機界面)

清洗時間：1-100分鐘可調

功率大小10%-100%可調

內腔尺寸200mm×200mm×260mm