原裝進口勻膠機 WS-400(WS-500)
原裝進口勻膠機旋轉涂敷儀 WS-400(WS-500)
全自動美國產旋涂儀
全自動美國產高精度旋轉涂敷儀
旋轉涂敷儀(Spin Coater),有許多名稱:甩膠機、涂膠機、勻膠機、涂層機、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂膜儀等,主要應用于溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,其工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關。
適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝,可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。
Laurell,Inc總部位于美國賓夕法尼亞,成立于1985年,是一家專業(yè)提供化工半導體材料清潔涂敷處理等特殊工藝的公司。公司擁有WS-400/500/650各類旋轉涂敷
系統(tǒng),目前客戶已遍布全球。
特色:
◆ 科研制備理想的旋涂儀;
◆ NPP或Teflon材質構造;
◆ 150毫米,200毫米和300毫米三種腔體大小;
◆ 可選擇臺式,立式和特殊環(huán)境內置式不同外形;
◆ 最大轉速可達10000RPM;
◆ 易編程的數(shù)碼控制器(400/500型控制器);
◆ 可升級成為自動滴膠型;
請根據(jù)您實際需要的大小和材質選擇相應的旋涂儀型號:
WS-400B-6NPP-LITE
◆NPP材質臺式
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
◆理想的旋轉涂敷儀
◆銷量最好的臺式系統(tǒng)
WS-400B-6NPP-LITE-IND
◆NPP材質內置式帶遠程控制器
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-6NPP-LITE-OND
◆NPP材質外置式帶遠程控制器
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-8NPP-LITE
◆NPP材質臺式
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-8NPP-LITE-IND
◆NPP材質內置式帶遠程控制器
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
◆銷量最好的wet-bench型系統(tǒng)
WS-400B-8NPP-LITE-OND
◆NPP材質外置式帶遠程控制器
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE
◆PTFE 材質臺式
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度)玻璃
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE-IND
◆PTFE材質內置式帶遠程控制器
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度)玻璃
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE-OND
◆PTFE材質外置式帶遠程控制器
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度) 玻璃
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE
◆PTFE材質臺式
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度)玻璃
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE-IND
◆PTFE材質內置式帶遠程控制器
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度)玻璃
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE-OND
◆PTFE材質外置式帶遠程控制器
◆固態(tài)PTFE-TFM Teflon-NXT廬 PTFE Hostaflon-TFM廬(接近零孔隙度)玻璃
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400-15NPP-LITE
◆NPP材質臺式
◆直徑為14.5英寸 (370 毫米)半圓形處理腔
◆可以涂敷最大直徑為13英寸 (330 毫米)的基底材料
◆我們提供的最大NPP系統(tǒng)
WS-400-15NPP-LITE-IND
◆NPP材質內置式帶遠程控制器
◆直徑為14.5英寸 (370 毫米)半圓形處理腔
◆可以涂敷最大直徑為13英寸 (330 毫米)的基底材料
◆我們提供的最大NPP系統(tǒng)
WS-400-15NPP-LITE-OND
◆NPP材質外置式帶遠程控制器
◆直徑為14.5英寸 (370 毫米)半圓形處理腔
◆可以涂敷最大直徑為13英寸 (330 毫米)的基底材料
◆我們提供的最大NPP系統(tǒng)
高精度數(shù)控勻膠機 MS400/MS500/MS650
適合半導體硅片,晶片,化學化工基片,導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆
旋涂樣片直徑最小可到3毫米,最大可達330毫米。
高精度數(shù)碼控制器:
可設定存儲20個不同樣片的旋涂程序段;
每個程序段可以設置51步不同的速度狀態(tài);
隨意任意時間范圍的加減速,可重復性達到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM;
液晶顯示屏可以實時讀取任意速度狀態(tài)
超準的速度控制:
我們的數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學編碼器輸入至伺服馬達控制器,其設置點精度小于0.006%(遵照美國NIST激光測量標準),無需校準;
20個51步程序段或者手動模式,非常方便設定速度和加速度程序段, 1~10000RPM的穩(wěn)定轉速可以隨意設定!