聚乙烯醇肉桂酸酯
產品含量：95%
CAS 編號：24968-99-8
外觀:淺黃粉末，乙烯基-3-苯基-2-丙烯酸酯的均聚物, 是一種負型光致抗蝕劑，在紫外光照射下聚合，不見光的部分不聚合。曝光顯影后圖形分辨率好，質量穩定，對二氧化硅、硅、鋁、氧化鉻等材料有良好的附著力，能耐氫氟酸、磷酸腐蝕。廣泛用于制備集成電路、電子元件的光刻工藝，亦適用于印刷線路板、金屬表牌、光學儀器、精密量具等微細圖形的加工
制備方法：聚乙烯醇與肉桂酰氯在吡啶溶劑中反應制備.
用途:（1）光致抗腐蝕劑,在紫外光照射下聚合，不見光的部分不聚合。曝光顯影后圖形分辨率好，質量穩定，對
二氧化硅、硅、鋁、氧化鉻等材料有良好的附著力，能耐氫氟酸、磷酸腐蝕。
（2）廣泛用于制備集成電路、電子元件的光刻工藝，
（3）適用于印刷線路板、金屬表牌、光學儀器、精密量具等微細圖形的加工.和半導體器件不可缺少的產品。
