超純水處理設備是由預處理設備，反滲透技術、EDI精處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，同時將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的制水系統。水質可達到電阻率高達15ＭΩ-18ＭΩ?ｃｍ以上的超純水。
各部分詳解：
預處理：預處理采用機械過濾器（功能：除雜質和泥沙）、活性炭過濾器（功能：除有機物和異味）、軟水器（功能：去除水中的硬度）、5μm保安濾器（功能：去除大于5μm以上的微粒）。
反滲透系統：采用美國陶氏的BW型膜元件，能耗低，脫鹽率高、產水量大。
EDI精處理：
1）特點：進水采用0.2μm過濾器防止微粒進入到EDI膜塊中，防止EDI膜塊堵塞。
2）工作原理及流程：：
EDI模塊(膜堆)是EDI工作的核心。一個簡單的EDI膜堆主要由兩個電性相反的電極和多個模塊單元對組成，一個膜單元對由一個填滿陽離子和陰離子交換樹脂的淡水室(D-室)、一個陽膜、一個陰膜、一個濃水室(C-室)組成。EDI膜堆包含多個膜單元對。在每個膜堆的內部有兩個帶有600V電壓的電極，這是通過每個膜堆必需的電壓。正極帶正電壓，負極帶負電壓，電流在正極和負極之間通過30個膜單元。任一個淡水室都包含著陽樹脂和陰樹脂，它相當于一個8千米厚的混床。一個陽膜朝著陰極的方向把淡水室和濃水室分開，在另外一邊，陰膜也把淡水市和濃水室分開。EDI用的膜和反滲透用的膜很不相同，反滲透用的膜允許小顆粒的分子污染物和離子以及水通過，而EDI膜象離子交換樹脂一樣是用聚苯乙烯材料制作的，只允許帶適當電荷的離子通過，水基本上不能通過。樹脂通過水的分離持續的再生。在電場中，給水中的水分子被分離成H+和OH-，被異性電荷相吸，H+通過陽陽樹脂移向陰極的方向，OH-通過陰樹脂移向陽極的方向。這種H+和OH-的遷移再生了樹脂，陽膜允許H+通過進入濃水室，陰膜允許OH-通過也進入濃水室，H+和OH-結合生成生產的水。濃水室中自己水的流動將帶走水中的陰陽離子。膜阻止帶相反電荷的離子的進入淡水室在水流通過淡水室的過程中，離子被樹脂去處，所以膜的有效側(淡水室)就會產生純水。
2）處理結果：采用EDI精除鹽，保證產出純水電阻率穩定在15ＭΩ-18ＭΩ?ｃｍ
反滲透水處理設備工藝：
預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥15MΩ.CM）。整個流程至少包含多個處理環節，我司可根據客戶的需求進行個性化配置。
