耐腐蝕真空機組是以真空泵泵為主泵，以水環泵為前級泵串聯而成的。耐腐蝕真空機組選用水環泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，它克服了單臺水環泵使用時極限壓力差，機組的極限壓力比水環泵有很大的提高，在一定壓力下抽氣速率低的缺點，同時保留了真空泵泵能迅速工作，有較大抽氣速率的優點。
尤其能夠適應抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當氣鎮油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統不允許油污染的時候更為明顯。當配有防爆電機及電器時并遵守相應的安全規則下，還可抽除易燃易爆的氣體。因此耐腐蝕真空機組廣泛地用于化工行業中的真空蒸餾、真空蒸發、脫水結晶；食品行業中的冷凍干燥；醫藥工業的真空干燥；輕紡工業的滌綸切片；高空模擬試驗等的抽真空系統中
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