漢鐘干式真空泵

包括臺灣漢鐘干式螺桿式真空泵和臺灣漢鐘干式多級羅茨真空泵

PDR系列

包括機型 漢鐘真空泵 PDR100 ， 漢鐘真空泵 PDR602， 漢鐘 真空

泵 PDR1202

上海漢鐘干式真空泵 PS系列

包括機型  漢鐘真空泵PS80 ，漢鐘真空泵PS160，漢鐘真空泵

PS180，漢鐘真空泵 PS602，漢鐘真空泵 PS1302

臺灣漢鐘真空泵PS系列產品特點

螺旋真空泵浦產品特色

　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺

旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無

需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密

封效果，終極壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路

徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆

特殊材質的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。

泵浦溫度控制精準

　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良

的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式

來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內部溫度，減少沉積物

的產生，增加真空泵浦的壽命。

密封馬達安全性高

　　PS系列真空泵浦亦全面采用專利設計的水冷罐裝密封馬達，除

了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免制

程氣體外漏的風險。

微電腦控制保護周全

　　PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監控馬達電流

、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高

低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用于光電、半導體、

太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。