氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)及其音圈直線(xiàn)電機(jī)氣浮平臺(tái)

聯(lián)系人：樊振華Fan zhenhua

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• 行程： 50 to 250mm；

• 分別率：1um/步；

• 無(wú)回滯，剛性強(qiáng)；

• 承載能力：20kg；

• 可堆疊 XYZ三軸平臺(tái)

• 真空度：1 x 10-10 mBar；

• 烘烤溫度：200°C；

• 交叉滾子軸承；

• 防輻射： 1 x 106 Gy ；

• 可以根據(jù)客戶(hù)要求定制，也可以定制固體潤(rùn)滑的方式；

• 規(guī)格	單位	LTVL	LTVH
  行程	mm	50/ 100 / 150 /200 /250	50/ 100 / 150 /200 /250
  整步分別率	μm	5	1
  最大速度	mm/s	15	4
  推薦真空環(huán)境中速度	mm/s	2	0.8
  重復(fù)定位精度	μm	1	0.2
  水平負(fù)載能力	kg	20	20
  負(fù)載力矩	Nm	<5	<5
  軸向力 @ 500Hz Iφ = 1A	kg	3	10
  間隙	μm	0	0
  轉(zhuǎn)動(dòng), 俯仰 & 偏載 (無(wú)負(fù)載	μrad	<25	<25
  Roll Compliance	μrad/Nm	33	33
  Pitch & Yaw Compliance	μrad/Nm	33	33
  直線(xiàn)度	μm	<1.3μm / 100mm	<1.3μm / 100mm
  使用步進(jìn)電機(jī)		D35.1	D35.1
  真空度	mBar	1 x 10-10	1 x 10-10
  最大恩度	°C	200	200
  MTBF (5kg負(fù)載和30%占空比)	hrs	15,000	10,000