概況及原理
氣體循環冷卻羅茨真空泵主要由轉子1、轉子2、泵體4、冷卻器7 等組成，由于其特殊的結構設計，使其可以在高壓差和高壓縮比下長期可靠運行。冷卻氣體從泵體的兩側進入泵的吸氣腔，使泵不會因壓縮氣體而出現過熱，但對泵的抽氣性能沒有任何影響。轉子在泵腔內旋轉并完成一次吸、排氣的過程。冷卻器和電機是每臺泵必備的附件，冷卻器和電機的規格是根據不同的工況而定。泵可以單獨使用也可以多臺串聯使用，或與液環真空泵和普通羅茨真空泵串聯成機組，達到更高真空度來滿足各類工藝要求。
主要特點
1.  可以單獨使用也多級串聯使用或與液環泵串聯使用。
2.  直排大氣時的工作真空度可以達到150mbar。
3.  多級串聯或和液環真空泵串聯后可以達到中真空范圍。
4.  特殊結構設計確保泵在高壓差和高壓縮比時不會過熱過載。
5.  良好的動平衡試驗和高精度機械加工確保產品運轉平穩安靜。
6.  先進的平衡式機械密封使泵的密封性能更優越。
7.  泵腔為無油結構，適用于抽除一般空氣及各種特殊氣體。
8.  與其它機械真空泵比較，節能效果顯著。

應用范圍：
羅茨真空泵的優點是在較低入口壓力時仍具有較大抽氣速率，但羅茨真空泵不能單獨使用，必須與前級真空泵配套使用。當前級真空泵將系統壓力抽到羅茨真空泵允許啟動壓力時，才可啟動羅茨真空泵。根據不同的工作壓力和工藝條件，羅茨真空泵的前級真空泵可采用油封式機械真空泵、液環式真空泵、往復式真空泵等。配置不同類別的前級真空泵后羅茨真空泵所能達到的極限壓力有所不同。羅茨真空泵可廣泛應用于需要大抽速和中等真空(10－1 －10－2Pa)的任何真空系統中,例如: 真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝設備、汽車制造業、集中真空抽氣系統、各類化工處理、真空脫汽、真空除汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。

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