分子泵的維修  

分子泵的保養(yǎng)與維修  分子泵在光盤(pán)行業(yè)的電鍍機(jī)上得到廣泛的應(yīng)用，特別是在BPS、Unaxis的電鍍機(jī)系統(tǒng)中。眾所周知，分子泵的價(jià)值不菲。維修的費(fèi)用相當(dāng)?shù)母?，所以分子泵的保養(yǎng)顯得十分重要，能夠自己維修的話(huà)，可以節(jié)約大量的成本，降低維修成本。下面的是一些關(guān)于分子泵的保養(yǎng)維修的基本資料，希望對(duì)大家有所幫助。一、分子系的內(nèi)部結(jié)構(gòu)  1．高真空接口 2．前級(jí)真空接口 3．冷卻水連接 4．排氣接口 5．電氣連接 6．橡膠底座10．轉(zhuǎn)子 10 a．轉(zhuǎn)子中心轂 14．安裝螺帽 16．USIT接頭  58．螺絲 59螺帽 60．球型軸承 61．半徑方向防震墊圈63．軸向防震墊圈 64．電視單元65．0-圈72．0-圈 73．0- 圈80．鎖緊著81．0-圈82．潤(rùn)滑油包83．0-圈84．油包安裝環(huán) .

在圖5的情 況中，兩邊氣體通過(guò)葉列的傳輸幾率是相同的。如果葉列沿自身的方向運(yùn)動(dòng)，按相對(duì)運(yùn)動(dòng)的原理，從葉列上來(lái)觀察氣體則氣體沿著相反的方向運(yùn)動(dòng)，加上自身的熱運(yùn)動(dòng)，其最終相對(duì)于葉列的運(yùn)動(dòng)方向如圖6右邊所示。

然而在這種情況下，兩邊氣體通過(guò)葉列的傳輸幾率也是相同的。當(dāng)葉列以不同的速率大小和方向（正向或反向）運(yùn)動(dòng)時(shí)，根據(jù)相對(duì)運(yùn)動(dòng)的觀點(diǎn)，葉列兩邊的氣體相對(duì)葉列的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)可以由圖7中標(biāo)號(hào)1到5來(lái)描述，其中任何一種狀態(tài)下，兩邊氣體通過(guò)葉列的傳輸幾率都是相同的。

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