分子泵的清洗： 一般來講，如果說前級泵沒有問題，而真空在規定的時間內沒有達到規定的真空值或者有漏氣（排除其它的漏氣）、或著解吸附作用降低，說明真空泵有點臟了，需要進行清洗，這時不用進行拆卸就可以直接進行清洗，如果太臟的話，就必須進行拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 1．關掉分子泵，進行排氣。 2．從機器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分。 3．拆掉冷卻器、加熱器（如果有的話）等 4．拆掉潤滑的油包 5．將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個適合的容器中。 6．往容器中用人無水酒精，高度以前級真空接口略低為宜.
分子泵油量 4.3.1.1分子泵油量應處于油標上下限之限之間，不得低于油標下限，以保證軸承的良 好潤滑，油標為紅色標志線。 4.3.1.2分子泵潤滑油采用不易裂變的低飽和蒸汽壓的專用分子泵潤滑油。潤滑油應潔 凈，嚴禁污物，雜質和塵埃落入。必要時應對潤滑油進行過濾。 4.3.1.3更換潤滑油時，油池應清洗干凈：第一次使用時，泵工作1000小時后，即應更 換；正常工作后。每工作4000小時即應更換，即使工作時間不足4000小時，一年內至少更換一次。如果泵經常烘烤或大負載工作或抽除侵蝕性氣體，潤滑油充注及更新時間間隔應縮短。
