edwards iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導(dǎo)體和太陽(yáng)能制造市場(chǎng) 領(lǐng)域涉及的所有排氣要求。

這些性能領(lǐng)先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量，同時(shí)盡可能降低功耗、 占地面積和重量。此外，大修間隔期內(nèi)無(wú)須 維護(hù)。

適用于嚴(yán)苛應(yīng)用的大型 iXL 干泵

iXL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負(fù)載應(yīng)用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗。可用于輕負(fù)載應(yīng)用（如晶圓加工、PVD 和 計(jì)量）的最小且最安靜的泵之一。此產(chǎn)品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎(chǔ)上構(gòu)建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通過(guò)環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備 使用率，從而降低成本并幫助保護(hù)環(huán)境。

一流的艙室 抽空時(shí)間可減少總體平均循環(huán)時(shí)間 (TACT)

僅僅 0.55kW 的功 耗有助于最大程度減少客戶擁有成本

環(huán)保模式可以在 空閑期間最多減少 92% 的功耗

最高 35oC 的水供給有助于 降低設(shè)備冷卻水要求

極小且極 輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間