適用于 Applied Materials 制程平臺的 IPUP
IPUP2：緊湊型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它能夠 以低能耗快速抽空負載鎖定艙室。
IPUP2 小巧輕便，適用于負載鎖定 和清潔應用。其低振動和低噪聲級的優點使其適合于 在機臺上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節省寶貴的 工廠地面空間，同時最大程序地提高泵送性能。環保模式可在 空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環境。
適合在 Applied Materials 的制程平臺上使用， 可提高處理能力，同時減少能耗。
3 萬億次循環 MTBF
與原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供適用于現有 IPUP? 的 插入式替換部件。
