iGX600M 干式泵 200-230V 50/60 Hz，PN：A54632958

iGX600M 干式泵 380-460V 50/60 Hz，PN：A54632959

應用

負載鎖

輸送

計量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

氧化物腐蝕

硅腐蝕

金屬腐蝕

植入源

功能和優勢

低運行成本

與 iL/iH 干泵相比，設施成本最多可降低 50%

無需預防性維護

靈活的安裝選項

小巧輕便，便于安裝

工具上、近程或遠程

可以改進工具吞吐量

可用的最快的負載鎖定泵之一

全程一致的泵送性能

在 50 和 60 Hz 下抽速相同

降低了環境噪音

僅 55 dB(A)

峰值速度范圍寬

100、300、600 和 800 m3h-1

峰值速度：   620 m3h-1

                365 cfm

                10333 l min-1

極限壓力：  7.00E-04 mbar

                5.25E-04 Torr

                0.07 Pa

700 Torr 排氣壓力下的極限

極限：  1.6 kW

AUC（有源設備控制器）： 0.05 kW

水入口*： 2 slm

氮：  4 或 14 slm

占地面積（不包括排氣裝置）： 0.20 m2

重量： 220 kg

進氣口連接： ISO100

出口連接：  NW25

極限噪音： < 55 dB(A)