GX1000N 干式泵 200-230 V 50/60 Hz，PN：A54781958

GX1000N 干式泵 380-460 V 50/60 Hz，PN：A54781959

應用

負載鎖

輸送

計量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

氧化物腐蝕

金屬腐蝕

植入源

功能和優勢

低運行成本

與 iL/iH 干泵相比，設施成本最多可降低 50%

無需預防性維護

靈活的安裝選項

小巧輕便，便于安裝

工具上、近程或遠程

可以改進工具吞吐量

可用的最快的負載鎖定泵之一

全程一致的泵送性能

在 50 和 60 Hz 下抽速相同

降低了環境噪音

僅 55 dB(A)

峰值速度范圍寬

100、300、600 和 800 m3h-1績效

峰值速度:  800 m3h-1

          471 ft3min-1

          13333 lmin-1

極限壓力:  1 x 10-3 mbar

          7.5 x 10-4 Torr

          0.10 Pa

700 Torr 排氣壓力下的極限

功率:  1.6 kW

AUC（有源設備控制器）: 1.05 kW

水*

水入口: 2 slm

氮氣: 4 或 14 slm **

安裝詳細信息:

占地面積（不包括排氣裝置）: 0.20 m2

重量: 230 kg

進氣口連接: ISO 100

出氣口連接: NW25

極限噪音:  <55 dB(A)