儀器簡介：

在高功率X射線管和檢測器上配備有比例計數管和半導體檢測器。可對應薄膜/合金膜以及極微小部件的測量需求，同時支持針對異物進行定性分析和材料的成分分析。

技術參數：

可測量元素：原子序數22(Ti)～83(Bi) 

X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶) 
管電壓： 50kV 管電流： 1.5mA Be 窗

濾波器：一次濾波器：Mo 

照射方式：上方垂直照射方式

檢測器：比例計數管+半導體檢測(無需液氮) 

準直器：圓形：Φ0.015mm Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm

安全性能：樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動診斷功能

樣品圖像對焦方式：激光自動對焦

樣品觀察：彩色CCD攝像頭 倍率光學器 鹵素燈照明

樣品平臺大小及承重：FT9400:240mm(W) ×170mm(D) 10kg 
                                               FT9450:420mm(W) ×330mm(D) 5kg 
                                               FT9455:700mm(W) ×600mm(D) 3kg

重量：FT9400/SFT9450:125kg (不含電腦) 
             FT9455:130kg(不含電腦) 

修正功能：底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正

測量報告書制作：配備MS-EXCEL? MS-WORD?(使用宏支持自動制作測量報告書) 
測量能譜與樣品圖像保存功能

主要特點：

1. 搭載有高功率X射線管及雙檢測器(半導體檢測器+比例計數管) 
可對應組合復雜的應用程序，特別是可識別Ni和Cu之類能量較為接近的元素。
能夠對Ni/Cu和Au/Ni/Cu在不使用二次濾波器的情況下進行測量
對于含Br的電路板，可以不受Br的干擾對Au的鍍層厚度進行高精度的測量
可測量0.01μm以下的超薄的Au鍍層厚度
2. 搭載塊體FP發軟件和薄膜FP法軟件
對應含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運用領域
3. 適用超微小面積的測量
標準配備的15μmΦ的準直器，可對超微小面積進行測量。
4. 搭載了可3段切換的變焦距光學系統
5. 搭載高精度樣品平臺，更可測量大型線路板(SFT9455) 
6. 自動對焦功能
配備激光自動對焦功能，能夠準確對焦，提高測量效率。
7. 搭載測試報告自動生成軟件