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特長
● 低溫領(lǐng)域下的均熱化。● 低噪音、低振動
● 優(yōu)良的耐腐蝕性● 多種自主功能選購件
用途
◆ 活性氣體◆ 非活性氣體◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣◆ 作為前級泵使用◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣
*1 極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。
*2 無結(jié)露。
*3 用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
*4 氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。
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