概述：

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。

應用

半導體制程

真空蒸餾

真空包裝

鋼脫氣

薄膜覆層

真空冶金

低密度風洞

空間模擬

真空浸漬

油干燥和脫氣

制藥冷凍干燥

CO2 激光

功能和優勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行。

牢靠且防腐蝕。

先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到最低。

軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

技術數據：

容積（工作容積）

50Hz2590 m3h-1/1525 ft3min-1

60Hz3110 m3h-1/1830 ft3min-1

使用后備泵時的有效抽取速度

E2M1751750 m3h-1/1031 ft3min-1

E2M2751900 m3h-1/1119 ft3min-1

泵的壓差 ?

50Hz0-120 mbar/0-90 Torr

60Hz0-67 mbar/0-50 Torr

入口連接ISO160

出口連接ISO100

轉速

50Hz0-2900 rpm

60Hz0-3500 rpm

連續入口操作壓力0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口壓力1000 mbar/760 Torr

推薦的后備泵GXS250，GXS400，E2M175，E2M275

電源供給

50Hz220-240V/380-415V

60Hz230V/460V

馬達功率

碳氫化合物11kW/15hp

PFPE11kW/15hp

ATEX11kW

防爆型15hp

環境溫度范圍

操作5 至 40°C/40 至 104°F

存儲-10 至 80°C/14 至 176°F

最大操作濕度90% RH

推薦的冷卻水流量（入口溫度 20°C）*250lh-1/1.1 gal min-1

推薦的冷卻水供應壓力*2-6 bar

冷卻水接頭*3/8 英寸 BSP 陽螺紋

推薦用油

標準型Ultragrade 20

PFPE 版本Fomblin? YVAC 16/6

油容量

齒輪箱3.5 升

聯結器箱6.5 升

軸桿封口儲油器1.5 升

重量**401 kg/882 lb