A ：耐久性
無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導體 Fabs 傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質。
B：成本
微電子 C/R 建設費可能花費到億。fab 能更快的被建造起來，產品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個很重要的考慮因素。
C ：適應性
一些廠商認為適應性可節省一筆金錢，而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招致極大的損失。C/R 的擁有者和設計者的能 力為改變一 C/R的關鍵，所以他們從不將最初的設計定型。
