氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。是根據自有FMEMS技術傳感芯片開發的一款應用范圍較廣、低功耗、可移動式設計、帶顯示、能夠實現網絡化常規的計量設備。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。獨特的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理。因煤氣中含水、油和雜質而造成的很大的零點漂移，導致無法測量的弊端。它也可以用于測量濕氣體的質量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風，排風系統中的風量（速）的實時檢測。