等離子體技術是近年發展起來的廢氣處理新技術，等離子體處理廢氣的原理為：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。

等離子廢氣凈化設備工作原理

首先廢氣經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩定高頻放電，瞬間產生1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢氣分子由于鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為*階段凈化。

其次，隨廢氣進入設備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸氧化，加快反應進程。整個反應干凈徹底，能量利用率高，凈化效率非常高。

等離子功能段可以激發污染物能量，促使長鏈、多鏈污染物分子的分子鍵斷裂重組，使難處理的污染物降解為較易處理的低碳污染物。

等離子體化學反應過程大致如下

(1)電場+電子→高能電子

(2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上反應過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到污染物分子中去，那些獲得能量的污染物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然后這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。