JOEL JSM-6510LA 掃描電子顯微鏡帶EDS能普儀
日本電子JOEL JSM-6510掃描電子顯微鏡
是一款高性能低價格的掃描電子顯微鏡（簡稱電鏡），分辨率可達3.0nm.可按用戶要求定做的操作接口便于用戶直觀操作儀器。SmileShot軟件保證得到zui佳電子光學(xué)參數(shù)。
JSM-6510的LGS型大樣品臺和GS型普通樣品臺可分別裝6英寸直徑和32mm直徑的樣品
與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統(tǒng)合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標(biāo)，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程
適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結(jié)果貼至SEM圖像，保存在文件中。
強大的電子光學(xué)系統(tǒng)，簡單操作。 |
設(shè)計的超級圓錐型物鏡，保證3nm的分辨率。很容易得到高質(zhì)量照片。 |
廣域掃描線圈可以得到zui低5倍的放大倍數(shù)從而提高觀察樣品的效率。 |
優(yōu)秀的電子光學(xué)系統(tǒng)可以在大束流下形成小束斑，有利于微區(qū)分析。 |
JSM6510系列超級圓錐形物鏡，在工作距離8mm時的分辨率為3nm，超級圓錐形物。 |
外形設(shè)計可以做到短工作距離情況下，樣品仍然可以大角度傾斜。 |
JEOL開發(fā)的全自動電子槍能夠產(chǎn)生極小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進行觀察或成分分析。 |
電子槍偏壓是調(diào)節(jié)電子槍亮度的重要部件。JEOL的無縫自給加壓系統(tǒng)能隨著電壓變化隨時調(diào)整偏壓，使得無論選擇哪個加速電壓，都能得到*亮度。 |
JEOL獨有的像散記憶功能能夠自動糾正隨加速電壓或工作距離改變而產(chǎn)生的像散。 |
JOEL JSM-6510LA 掃描電子顯微鏡技術(shù)參數(shù)
| 保證分辨率 | 3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV） |
| 放大倍數(shù) | 5至300,000x |
| 加速電壓 | 0.5kV至30kV |
| 電子槍 | 工廠預(yù)對中燈絲 |
| 聚光鏡 | 變焦聚光鏡 |
| 物鏡 | 錐形物鏡 |
| 樣品臺 | 全對中樣品臺 |
| X-Y | 80mm-40mm |
| Z | 5mm至48mm |
| 旋轉(zhuǎn) | 360° |
| 傾斜 | －10°至＋90° |
| 排氣系統(tǒng) （高真空模式） | DPx1，RPx1 |
| 排氣系統(tǒng) （低真空模式） | DPx1，RPx2 |
