超純水機是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，超純水機將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水機又稱做:超純水器，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。優質超純水出水能達到18.25兆歐。

超純水機是自來水經過精密濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，其水質可以達到國家三級水標準，同時反滲透裝置產水的廢水(亦稱"濃水")排掉。反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，最后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。