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4~12寸晶圓蛋糕盒及相關緩沖材料

蛋糕盒特性：

1、 盒里設有緩沖片在晶圓邊圍，以防止運輸途中碎晶
2、可裝載25片晶圓
3、使用低異物，低離子污染材料
4、表面電阻<1x109Ω
5、對應自動化設備


緩沖隔紙特性：

1、低顆粒物數量。
2、低離子污染。
3、降低靜電對晶圓的破壞。
4、兩面相同壓紋。
5、容易與晶圓分離開。

緩沖泡綿特性：

1、PE發泡綿
2、吸收沖擊有緩沖作用
3、低離子污染
5、適用于超薄片晶圓
6、獨立發泡構造減少顆粒物產生

靜電吸附用保護膜

軟質PVC （聚氯乙烯）

– 柔軟，易加工，可以加上不同的附加價值
(阻燃，不易有靜電，吸收紫外線，防蟲，等）

用途

– 維護
（木棉清理，噴漆車間，核電廠維護，建筑工程現場）

– 隔簾
（無塵車間，生產線，出入口）

– 其他
（機械設備保護，包裝保護，等）