超純水系統通過一系列復雜的工藝流程，將原水轉化為超純水。以下是超純水系統的主要工作原理和組成部分：

預處理。原水首先經過預處理單元，通過過濾、沉淀、氣浮等方法去除水中的懸浮物、泥沙、有機物質等雜質。

反滲透。預處理后的水進入反滲透（RO）裝置，RO膜允許水分子通過，同時截留離子、重金屬、有機物質等，從而得到較高純度的水。

離子交換。反滲透后的水通過離子交換裝置進行處理，離子交換樹脂可以去除水中的陽離子和陰離子，如鈉離子、鈣離子、鎂離子、氯離子等，進一步提純水。

終端處理。為了去除可能存在的細菌、病毒和其他微生物，純水系統通常會進行消毒處理，如紫外線照射和化學消毒。

儲存和送水。處理后的純水需要儲存，并通過管道或其他方式送達使用點。

此外，超純水系統還可能包括其他技術，如電去離子（EDI），這是一種將電滲析和離子交換相結合的脫鹽新工藝，無需酸堿再生，能夠連續、