半導(dǎo)體BA/EP級真空閥門-半導(dǎo)體真空蝶閥產(chǎn)品應(yīng)用

奇高BA級蝶閥是采用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的潔凈蝶閥，密封板搭配Du特的設(shè)計，可完全隔絕粉塵，具有快速開閉、安裝快速、尺寸小，壽命長等優(yōu)點。

氣動蝶閥的密封設(shè)計，可應(yīng)用在需完全隔絶具污染及腐蝕氣體制程中。BA級蝶閥閥門安裝于各半導(dǎo)體領(lǐng)域。

半導(dǎo)體BA/EP級真空閥門-半導(dǎo)體真空蝶閥設(shè)計特征

? 旋轉(zhuǎn)氣缸驅(qū)動或手動，快速開啟關(guān)閉

? Du特的氣密設(shè)計

? 密封板位置指示器

? 任意安裝方向

? 高氣導(dǎo)

? 150萬周期壽命

Body / P late / Shaft 材質(zhì)

不銹鋼 (Stainless steel)

奇高主要服務(wù)于半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能、光電、真空鍍膜、其他高性能真空系統(tǒng)、科研機構(gòu)等高科技領(lǐng)域;多年來持續(xù)占有全球市場主要市場份額。奇高閥門專注于真空閥門領(lǐng)域，因其強大的研發(fā)創(chuàng)新和業(yè)界聞名的好品質(zhì)，半導(dǎo)體芯片設(shè)備以及太陽能設(shè)備制造廠商都在其機臺設(shè)備中大量采用了奇高公司的產(chǎn)品。

保固條件

1.自客戶收到貨品起一年內(nèi), 或到達產(chǎn)品設(shè)定的使用次數(shù), 先到者為準

2.操作環(huán)境限于空氣, 惰性氣體及真空

3.因天然災(zāi)害, 錯誤操作造成的損壞及消耗品不在保固范圍內(nèi)