| 示值范圍（μm） | 分辨率（μm/1只光管） | 初始間隙（μm ） |
| 10 | 0.1 | 25 |
| 20 | 0.2 | 30 |
| 50 | 0.5 | 50 |
| 100 | 1.0 | 50 |
| 示值范圍（μm） | ±5 | ±10 | ±25 | ±50 |
| 數顯分辨率（μm） | 0.1 | 0.2 | 0.5 | 1.0 |
| 示值總誤差（μm） | ≤0.2 | ≤0.4 | ≤1.0 | ≤2.0 |
| 示值變動性（μm） | 0.1 | ≤0.2 | ≤0.5 | ≤1.0 |
| 外形尺寸（mm） | 56×498×180 | |||
| 重量 | 約2.8Kg | |||
