光柵尺是上世紀70年代的日本產品，它是利用光柵的莫爾條紋和光電轉換技術，在3mm的附法玻璃上鍍鉻刻1μ為一道的透明長度尺，然后把它粘在鋁尺上。靠光折射或透射反饋到感應器中進行計量。而鋁和玻璃的膨脹系數不一樣，冷熱溫差大時極易折斷。光柵尺的傳感器與尺的連接是敞開式的，極易進水、油、灰塵等。一旦進去這些油、水、灰塵等光柵尺就基本報廢了。整體尺只能為3米，接長較難、精度難保證。所以光柵尺對環境要求相對較高，安裝較復雜、使用壽命短，而且必須要由專業人員安裝才行
適合安裝在大型或超大型機床上。如龍門銑床、鏜床等。一般機床安裝球柵尺后可提高工效20%以上，鏜床精加工可節約工時30%