電子級六甲基二硅氮烷HMDS

別名：六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亞胺六甲基二硅氮烷

無色透明液體。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下，與醇或酚反應，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷與NH3反應來制取。

中文名：六甲基二硅氮烷

英文名：Hexamethyldisilazane

分子式：C6H19NSi2

分子量：161.39

CAS號：999-97-3

EINECS號：213-668-5

用途：

主要用于晶圓制造過程中光致刻蝕劑的粘結助劑。